一、非接觸膜厚儀工作臺(tái)基礎(chǔ)環(huán)境要求
 

　　擺放位置平整穩(wěn)固，臺(tái)面無晃動(dòng)、傾斜，設(shè)備整機(jī)水平度達(dá)標(biāo)，輕微震動(dòng)會(huì)直接造成光學(xué)測(cè)量數(shù)據(jù)漂移、重復(fù)精度變差。
 

　　遠(yuǎn)離空壓機(jī)、電機(jī)、流水線等振動(dòng)源，同時(shí)避開窗戶風(fēng)口、空調(diào)直吹，氣流擾動(dòng)會(huì)帶動(dòng)樣品與鏡頭光路偏移。
 

　　環(huán)境溫濕度穩(wěn)定，溫度控制 20～26℃，濕度 40%～70%，避免臺(tái)面凝露、高溫形變影響工作臺(tái)定位精度。
 

　　臺(tái)面保持無塵，周邊禁止堆放粉塵、油污、揮發(fā)性試劑，防止污染物附著鏡頭與載臺(tái)。
 

　　二、工作臺(tái)硬件結(jié)構(gòu)使用規(guī)范
 

　　臺(tái)面材質(zhì)平整耐磨，禁止硬物大力刮劃、敲擊工作臺(tái)定位面，出現(xiàn)劃痕凹凸會(huì)導(dǎo)致樣品放置傾斜，測(cè)量失真。
 

　　調(diào)節(jié)升降、XY 平移平臺(tái)時(shí)勻速操作，禁止快速猛推、硬掰調(diào)節(jié)手柄，避免導(dǎo)軌滑絲、定位刻度偏移。
 

　　定位夾具、限位塊輕裝輕拆，螺絲均勻緊固，單邊用力擠壓會(huì)造成夾具變形，樣品定位偏移。
 

　　真空吸附工作臺(tái)需定期清理吸附孔堵塞粉塵，吸附壓力適中，薄型基材避免吸力過大導(dǎo)致樣品形變。
 

　　三、樣品放置操作要求
 

　　待測(cè)樣品平鋪貼合工作臺(tái)，無翹曲、褶皺、懸空，薄膜樣品需完全展平，底部無氣泡、雜物墊起。
 

　　測(cè)量點(diǎn)位對(duì)準(zhǔn)鏡頭中心區(qū)域，不要靠近工作臺(tái)邊緣測(cè)量，邊緣支撐不足易出現(xiàn)輕微傾斜誤差。
 

　　多批次連續(xù)檢測(cè)時(shí)，統(tǒng)一樣品擺放基準(zhǔn)，依靠限位塊定位，減少人工擺放帶來的位置偏差。
 

　　易碎、軟質(zhì)薄膜輕拿輕放，禁止在工作臺(tái)表面拖拽樣品，劃傷臺(tái)面同時(shí)損傷樣品膜層。
 

　　四、日常清潔與保養(yǎng)要求
 

　　每次檢測(cè)完成后清理工作臺(tái)，無塵布配合無水乙醇擦拭臺(tái)面粉塵、油污，禁止強(qiáng)酸強(qiáng)堿清潔劑。
 

　　導(dǎo)軌滑動(dòng)部位定期清理粉末雜質(zhì)，按需添加專用潤(rùn)滑脂，保證移動(dòng)順滑無卡頓。
 

　　長(zhǎng)期停機(jī)時(shí)工作臺(tái)覆蓋防塵罩，避免落灰堆積吸附孔、定位刻度。
 

　　定期檢查臺(tái)面平整度、導(dǎo)軌間隙，出現(xiàn)松動(dòng)、間隙過大及時(shí)微調(diào)緊固。
 

　　五、安全與測(cè)量避坑要點(diǎn)
 

　　工作臺(tái)移動(dòng)過程中確認(rèn)鏡頭下方無樣品，防止升降臺(tái)頂撞光學(xué)鏡頭，造成儀器損壞。
 

　　禁止超重工件長(zhǎng)期放置工作臺(tái)，避免臺(tái)面長(zhǎng)期受壓形變，永久降低定位精度。
 

　　測(cè)量前確認(rèn)工作臺(tái)完全靜止再啟動(dòng)檢測(cè)，臺(tái)面未停穩(wěn)讀取數(shù)據(jù)會(huì)出現(xiàn)大幅測(cè)量偏差。
 

　　導(dǎo)電、高反光樣品配套專用治具放置，減少臺(tái)面反光對(duì)非接觸光學(xué)測(cè)量的干擾。
 

　　六、非接觸膜厚儀定期點(diǎn)檢規(guī)范

 

　　每日開機(jī)檢查工作臺(tái)移動(dòng)是否卡頓、吸附功能是否正常；
 

　　每周清潔臺(tái)面與導(dǎo)軌，檢查限位、固定螺絲有無松動(dòng)；
 

　　每月使用標(biāo)準(zhǔn)片多點(diǎn)位測(cè)試，校驗(yàn)工作臺(tái)定位帶來的測(cè)量重復(fù)性誤差。